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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

項目大环境 该半导器件的行业地属长半圆省份,包括制造8英尺和12英尺晶圆,日排污废蓄水量约2000吨。在半导器件制造艺非常复杂,污水材质有很多且具有多种多样难生物降解有害物质,的行业原先的整理油烟净化器没办法满意空前严格规范的节能减排排污标,故投资的1000万元新修建专注污水整理站。 焦化废水因素及来历 该商家废水处理关键可分为几类: 含氟废污水:主要来来自于晶圆蚀刻、洗工作,氟亚铁离子含量高达独角兽2000mg/L; 设计酸焦化废水:出自光刻、成像等制作工艺,所含异丙醇、甲苯等设计酸石油醚,COD值在5000mg/L影响; 碱酸废渣:行成于的洗涤和面除理缓解,pH值冲击大; 含铜废气:产自电镀层和重金属化工类艺,铜铁离子溶度约150mg/L。 进行处理工艺方案方案 对应有差异 特征的焦化废水,使用"分类别获得+分质净化外理+末段广度净化外理"的三人组合技术: 含氟电镀废水外理线: 两极催化奠定:先添加氯化钙缓解pH至6-7,再加上入PAC和PAM斜管沉淀物池奠定; 活性酶类阳极氧化铁吸附性:保证氟阳离子密度低于8mg/L下述。 设计废水治理 治理 线: 微电解设备反映:铁碳生物填料床预处里增强废气可生物化性; UASB厌氧发酵反馈器:HRT=24h,COD洗去率65%; MBR膜生物体体现器:进行PVDF双层纤维材料膜,出液COD<50mg/L。 酸碱度生活污水采和系统: 一键pH调:借助在线平台污染监测仪有效控制加酸加碱量; 二沉池乳浊液:出掉中合诞生的浮动物。 含铜废渣进行处理: 化学式沉定出的:加药NaOH调理pH至9-10,造成氢氧化反应铜沉定出的; 阴阳铁离子相互交换:保证 铜阴阳铁离子渗透压<0.3mg/L。 纵深清理第一单元: O3促使腐蚀:进几步化学降解难溶解生物碳物; 催化活性炭筛选器筛选:剔除饱和度和轻微弄脏物; 紫外光线直射灯消毒:保持满水后微细小微生物完成指标及格。 结果特效 大型项目行驶后,冒水水体质量可靠高于《智能轻工业水破坏物尾气排出标准规定标准规定》(GB 39731-2020)特备尾气排出标准规定卫生防护距离需求,各举氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。去年可下降氟化物尾气排出标准规定约120吨,COD尾气排出标准规定约400吨,收购我国水资源量约100万吨。系统的半机械水平高,行驶总成本操作在8.5元/吨水身边。

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