半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
楼盘图片背景
该服务业园集聚了十余家半导体芯片有关系制造业企业的公司,设定日补救工作能力5000吨,须要补救来源多种制造业企业的公司的交织废水办理办理加工。因各制造业企业的公司产量加工差异化大,废水办理办理加工组分较为复杂反复无常,补救难易度较高。
废水处理工艺材质及原因
废气主要的涉及到两大类:高空气氧化还原电位可挥发废气(光刻胶、定影液等)、含氟废气(刻蚀生产工艺)和酸碱平衡废气(洗掉生产工艺)。特色营养成分涉及到异丙醇、四甲基氢空气氧化铵等难溶解可挥发物,并且氟化物、化学需氧量等有机污染破坏物。废气COD冲击大(500-3000mg/L),氟化物空气氧化还原电位100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
除理生产技术步骤流程
通过"归类收藏+分质除理+分布进一步除理"的去创新策略:
公司企业內部类型预治理 :含氟污水多个获取并预治理
小区管线几大类传送平台
整合可以调节池均等化土质
二级混凝土水解出掉透明桌面物和溶液
极有效率菌物反响器(HBR)处理生物碳被污染的物
O3离子液体腐蚀吸附难吸附无机物
反参透软件系统实行脱盐治理
太阳光的太阳辐射线太阳辐射消毒保障出水量安全的
特别的快速设置了上线监测设备设备和主动投药设备,因对水质量跌涨。
最终能够效率
系统的正常运行5年来,处理感觉不稳定性耐用。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,以达到地面水Ⅳ类标淮,位置工业废水处理于居民小区绿化带及水闭式冷却塔补湿,工业废水处理率超过了30%。去年缩减新鲜松茸水利用约十万吨,为居民小区单位节约了电费数百人万美金。