某半导体芯片厂在生产加工操作过程中动用盐酸系定影液,引发高氧浓度含NOx废水进行清理工艺,日进行生产量50吨。废水进行清理工艺中含NO2-到达2000mg/L,且包含有氢化物发生器有机酸光刻胶材料,进行清理麻烦更大。
2. 生产废水物质及起源
成像工步废水(基本生态破坏源)
晶圆洗掉废水处理方法
的废气洗滌塔排水障碍
3. 治理艺步奏
采用了"高等 钝化+多级生物技术治理 "去创新工艺技术:
嗅氧氧化的
:按照什么是臭氧有器生成O3,将难光降解设计物细化为小原子物料,一起将NO2-氧化物为NO3-。
生物体膜不良物反应器(MBR)
:
第1 级:星球基地区域下加药甲醇最为碳源,有助于反反硝化作用反映
二级:好氧生物学膜进步骤挥发可挥发物
电药剂学广度处置
:采用了钛基铝层电级,按照电解法的功效齐全分离多余废弃物物。
4. 最中郊果
NOx总氮降为8mg/L以內
COD增强在30mg/L以下
生产废水中水回用率达60%
软件系统启动用电量管理在3.5kWh/吨水,较以往工艺设备低碳20%。