该晶圆创造厂是在华北中南部,最主要出产8厘米半导体芯片晶圆,平均工业废水使用排缩量上涨约800吨。因此出产方式中运用过量氢佛酸使用晶圆蚀刻,诱发工业废海里氟化物渗透压高达模型200-300mg/L,远超政府使用直接排放规定(10mg/L下面)。
污水因素及主要来源
电镀废水重点是来自于6个阶段:
晶圆蚀刻制作工序
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸银及少量出天价属
物理自动化抛光技术处理(CMP)工业废水
:含微米级硅颗粒物、有机肥料络合剂
装置家电清洗工业废水
:含异丙醇、氧化还原电位等生物碳物
处理加工过程操作流程
选择"化学上的石雕文化沉积+水泥混凝土石雕文化沉积+角度过滤水"三类整理体系:
6级加工处理
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,进行氟化钙放置,氟化物避开率达85%
二次整理
:填加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),快速清理溶液态被污染的物
一级清理
:根据多媒质过滤程序器和活力性炭吸附物,满水后氟化物酸度稳固在8mg/L以下的
核心仪器例如:pH半自动控制系统软件、斜管积累池、板框隔膜压滤机(污水烘干)。
以后郊果
工程电脑运行几年监控数据统计显视:
氟化物大概酸度:7.2mg/L(如果低于国家的细则)
COD删去率:92%
厌氧颗粒污泥含水量率:≤65%
年收旧氟化钙副软件约150吨,保持能源化进行