产品视频背景
深圳某半导体行业厂种植过程中中同时确立高硅废污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废污水(F⁻ 200-300mg/L)。两类废污水比调容易确立氟硅酸悬浊液,老式化学悠长岁月中法无法保持稳定不合格。该项目标准要求发送到取除硅和氟(进行尾气排放标准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理方法部分及来历
常见组成
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
起源
:晶圆刻蚀污水、CMP研磨机污水、机清洗道路水
清理工艺设备具体步骤
协作滤渣关键期
:
有级化学反应池
:
独一级加药系统Ca(OH)₂提取CaF₂和CaSiO₃积淀;
其二级加药PAC(缔合氯化铝)升星斜板沉淀池。
固液分离出来的时候
:
超滤膜平台
:通过0.02μm内径膜构件公款私存悬浊液硅和微细积累物。
深入脱氟阶段中
:
可溶性脱色铝离心分离塔
:残余物氟铝离子溶解的还原。
不可能特效
喷水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远强于部委规范标准。
反渗透膜程序通量稳定的在15LMH,耐腐蚀的洗涤期延迟至60天。
淤泥经压滤后含水量率<65%,可按正常危险废物外理。