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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为85英寸晶圆分娩线相互配套的超软水设计,天天制造含硅废渣150吨。废渣中虽无高价属,但硅硫含量高易积垢,且功率电阻率需达到了18MΩ·cm就能够中水回用。本来的进行处理工学艺不了拥有新施行的《光学重工业水环保问题物排出标淮》(GB39731-2020)特别排出规定值。 焦化废水部分基本特征 核心污染破坏物 :固体硅(200-300mg/L)、粉末硅(比表面积0.1-1μm) 特异需要 :TOC<10μg/L,硼含锌量<5μg/L 环境质量的特点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅单质形状冗杂 处置加工具体流程 创新性选用"梯级膜剥离+电去铁离子"组合成鑫霖环保: 微滤预治理 :1μm瓷器膜屏蔽广告大颗粒状硅,通量恢复80LMH 铁离子变换树酯 :D201大孔树酯确定性吸附性硅酸原子 五级RO模式 :一是段收废率60%,然后段采取高脱硼膜元器件 EDI电去亚铁离子 :工作电流密度单位2A/m²,延续出掉的残留物阴阳离子 UV紫外线杀菌的 :254nm太阳光的太阳中的紫外线线使用量40mJ/cm² 技巧突出 设计专业级阻硅剂(有机肥料胺类挽回物),廷迟膜废弃物周期怎么算3倍 EDI功能不断创新流道制定,硅出掉率优化至99.8% 网上硅深入分析仪器(检测的区间0.1-500μg/L)进行精确调整 自动运行成果 经3、方加测: 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L调至0.3μg/L 系统的的回收利用率从原40%升降至68% 膜更換时间间隔延长了至5年,年加载价格减小35%

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